Verbundprojekt: Entwicklung eines portablen LASER-Ophtalmoskops LYNX mit Pattern-Scanning; Teilprojekt: Optimiertes Beschichtungsverfahren für HR / AR-Beschichtungen für LYNX MEMS-Scan-Modul

Ziel des Gesamtprojektes ist die Entwicklung eines neuartigen hochportablen Ophthalmokops LYNX mit Pattern Scanning zur räumlich flexiblen und Patientennahen multi-spot Laserbehandlung von Retina-Erkrankungen (z.B. diabetische Retinopathie). Die MEMS-Scannerspiegel für das System müssen mit einer hochreflektierenden optischen Beschichtungbversehen werden, um einen hohen optischen Durchsatz des therapeutischen Laserstrahls zu gewährleisten. Die Spiegel müssen bei extrem kleiner Dicke von nur 75 µm sehr gute Ebenheit aufweisen. Im Teilprojekt wird eine hochreflektierende Beschichtung und ein Verfahren entwickelt, um diese HR-Schichten bestmöglich spannungskompensiert auf diese dünnen MEMS-Scannerspiegel aufzubringen. Der Stand der Technik ist, eine zweiseitige Beschichtung empfindlicher Substrate in zwei separaten Prozessen. Hierfür ist ein manuelles Wenden der MEMS-Substrate mit Unterbrechen des Vakuums, Öffnen der Beschichtungskammer und neue Rüstung der Anlage erforderlich, bevor die zweite HR-Beschichtung aufgetragen werden kann. Dies führt zu einer Verdoppelung der Prozesszeit, erhöht das Risiko von Ausbeuteverlusten durch entstehende Verunreinigungen und Partikel und steigert die Gesamtkosten. Der Ast. wird ein spezielles Substratwende-System entwickeln, dass in die Beschichtungsanlage integriert wird. Mit diesem können die MEMS-Substrate in der Beschichtungsanlage ohne Unterbrechung des Vakuums gewendet werden. Es wird eine hocheffiziente Vakuumbeschichtungstechnik mit verbesserter Beschichtungssymmetrie (doppelseitige HR / AR) auf empfindlichen Substraten entstehen, die als spezielle optische Komponenten des LYNX-Systems benötigt werden. Die dadurch entstehende, deutlich bessere Symmetrie der Schichten wird eine höhere Spannungskompensation auch bei noch höher reflektierenden Schichten ermöglichen. Die zu entwickelnde Beschichtungstechnik wird außerdem zu einer höheren Effizienz, Zuverlässigkeit, Produktionsausbeute und reduzierten Kosten führen.