Verbundprojekt: Flexible Sensor-Pilotlinien für das Internet der Dinge - IoSense -; Teilvorhaben: Pilotlinie Waferfertigung für MEMS und Sensorik

Sensoren und Sensorsysteme sind die mikroelektronischen Schlüsselkomponenten für das Internet der Dinge und somit Wachstumstreiber für die smarte Vernetzung von Menschen und Objekten. Das Vorhaben IoSense (IoT & Sensors) will mit einer flexiblen More-than-Moore-Pilotlinie (Frontend und Backend) in Deutschland im Verbund mit assoziierten europäischen Kleinpilotlinien innovative Sensoren und Sensorsysteme "Made-in-Europe" bereitstellen: interoperabel, flexibel, modular, anwendungsorientiert, standardisiert, schnell und kostengünstig. IoSense adressiert die großen gesellschaftlichen Herausforderungen wie Klimawandel, Energieversorgung, Ernährung, Gesundheit und Demografie: Demonstratoren für Anwendungen in Smart Production, Smart Society, Smart Mobility und Smart Health zeigen Mehrwert-Beispiele als Ausgangspunkt für potentielle Einsatzmöglichkeiten. Bedeutung für Deutschland IoSense wird die Wettbewerbsfähigkeit der Halbleiterfertigung speziell in Deutschland stärken und ausbauen. Das Vorhaben etabliert die Pilotlinie – Frontend und Backend umfassend – für innovative, zukunftsfähige Sensorlösungen. Es ist ausgerichtet auf "Die neue Hightech-Strategie – Innovationen für Deutschland": IoSense betrachtet systematisch die gesamte Innovations- und Wertschöpfungskette und schafft neue, hoch qualifizierte Arbeitsplätze in Deutschland.