Verbundprojekt: Eine neue Generation von Muster-scannenden Lasern zur Behandlung von Augenkrankheiten; Teilprojekt: Mikro-Spiegel für MEMS Scanner zur Multispot-Laser-Koagulations-Behandlung von Augenkrankheiten

Im Projekt MultiLASE sollen neuartige Laser-Systeme zur Behandlung von Augenkrankheiten entwickelt werden. Diese kompakten Systeme sollen MEMS basierte Scannerspiegel enthalten, um die Positionierung des Laserstrahls vornehmen zu können und ein definiertes, "bestrahltes" Muster zu erzeugen. Diese Scannerspiegel haben minimalste Dicken und für eine bestmögliche optische Performance müssen hochrefelktierende Schichten aufgebracht werden. Hierfür sollen technische und technologische Lösungen entwickelt werden, um möglichst spannungsarme bzw. -kompensierte HR-Schichten auf derart empfindliche und dünne Substrate aufzubringen. Im Projekt werden neben den Schichtdesigns vor allem auch die dafür nötigen Prozesse, sowie notwendige Anlageneinbauten und Hilfsmittel entwickelt und realisiert. So sollen im Teilprojekt von Optikron die speziellen Spiegel entstehen, die wichtiger Bestandteil der MEMS-Einheiten sein werden. Neben den Spiegeln selbst werden im Projekt auch technische Lösungen entwickelt, um derart empfindliche Teile und Einheiten weiterführend auch zu montieren, zu behandeln, zu lagern und zwischen den nötigen Technologieschritten zu transportieren.