Verbundprojekt: Offene Metrologieplattform für vertrauenswürdige Elektronikkomponenten – WaferMetrologyCenter -; Teilvorhaben: Reinheitstechnische Auslegung und Evaluierung

Zielstellung des Teilvorhabens "Reinheitstechnische Auslegung und Evaluierung" des Fraunhofer IPA‘s ist die Sicherstellung von reinheits- und reinraumtauglichen Anforderungen der WMC-Plattform und seiner Sensoren. Dies erfolgt durch entwicklungsbegleitendes Consulting sowie durch Strömungssimulationen und Qualifizierungstests im Kompetenzzentrum Reinst- und Mikroproduktion des Fraunhofer IPA. Alle relevanten Messungen, z. B. die Bestimmung der Partikelemission, werden in einem Referenzreinraum der Luftreinheitsklasse 1 (nach ISO 14644-1) mit vertikaler Verdrängungsströmung bei konstanten Betriebsbedingungen durchgeführt.