Verbundprojekt: Erste Pilotlinie für die kostengünstige Fertigung von Leistungselektronik der nächsten Generation - REACTION -; Teilvorhaben: Dünnen und Sägen von 8" SiC Wafern

REACTION hat das Ziel mit die erste weltweite 200mm Silicon Carbide (SiC) Pilot Line Facility für Power Technologie aufzusetzen. Dies wird es der europäischen Industrie ermöglichen, neue und wettbewerbsfähige Lösungen für gesellschaftlich relevante und aktuelle Themen wie z.B. sparsame Energie, CO2 Reduktion sowie Nachhaltigkeit durch elektrische Mobilität und industrielle Energieeffizienz anbieten zu können. Zielsetzung: - Entwicklung und Demonstration der ersten weltweiten 200mm SiC Fertigungsanlage (Substrat, Equipment, Prozess) - Verbesserung der Produktivität und der Wettbewerbsfähigkeit in der von SiC Technologie im Bereich 6" - 8" Wafer