Nanoelektronische Bauteile mit Graphen-Membranen (NanoGraM)

Erforschung und Realisierung von Methoden zur Charakterisierung von freitragenden Graphen-Membranen (Stress, Topographie): 1. Erforschung von Teststrukturen Die von den Partnern entwickelten Teststrukturen werden auf die prinzipielle Messbarkeit mittels konfokaler Raman Mikroskopie, optischer Profilometrie und AFM überprüft. 2. Erforschung von Raman-Spektroskopie-Methoden zur Stress-Analyse auf Graphen: Bei einer Probe unter Stress sollten sich die Raman Banden von Graphen proportional zum Stress verschieben was vermessen wird. 3. Stress- und Topologieanalyse von Membranen die bis zu mehreren mm im Durchmesser aufweisen mittels Raman-Mikroskopie 4. Kombination von Raman Messungen mit mechanischen Analysen (AFM) 5. Raman Messungen unter Druckdifferenz Die prinzipielle Idee hierfür ist, dass die Membran einen Hohlraum luftdicht abschließt. Die Probe soll in einer Vakuumkammer mit gutem optischem Zugang unter variablem Druck vermessen werden. Der Druckunterschied zwischen der Kammer und dem eingeschlossenen Hohlraum wird die Membran dann verbiegen. 6. Robustheits-Messungen In den Robustheitsmessungen werden viele Erkenntnisse der Vorangegangenen Punkte zusammengeführt. Es wird hier die Defektbande des Graphens im speziellen untersucht und Variationen unter mechanischen Druck (wie bei Punkt 4) sowie unter Vakuum (Punkt 5) untersucht. Die in der Vorhabensbeschreibung aufgezeigten Punkte werden in folgenden Zeiträumen abgedeckt werden (Deitaillierte Planung siehe angefügte TVB): 1. Monat 1-6 2. Monat 1-18 3. Monat 1-18 4. Monat 13-18 5. Monat 13-30 6. Monat 31-36