Verbundprojekt: An integrated pilot line for micro-fabricated medical devices - InForMed -; Teilvorhaben: Höchstintegration von Sensorsystemen für Anwendungen in der Medizintechnik und sicherheitsrelevanten Bereichen (HiStAMin)

HiStAMin strebt innerhalb InForMed die Bereitstellung einer für integrierte Fertigung geeignete Technologiebasis zur schnellen Produktevaluierung (MPG und Sicherheit) und raschen Umsetzung innovativer Produktvisionen an. Besonders die Medizintechnik und die Sicherheitstechnik profitieren von den Errungenschaften der Mikro- und Nanotechnologie, die sich jedoch nur mit hohem Infrastrukturaufwand realisieren lassen, daher mittelständischen Unternehmen nur schwer zugänglich waren. Das Gesamtvorhaben InForMed - besonders das Teilvorhaben HiStAMin - wird dieser Problematik effektiv begegnen und die gesamte Fertigungskette für höchstintegrierte Produkte auch für den Mittelstand in einer frühen Produktentwicklungsphase nutzbar machen. Im Detail entwickelt das EMFT im Projekt ein Mikropumpen-Demonstratormodul für das personalisierte Gasmonitoring im Bereich der Arbeitssicherheit. Das IZM wird auf Basis seiner Expertise im Bereich der Dünnchiptechnik sowohl die kardiovaskulären Ablationskatheter, die Deep Brain Stimulationselektroden wie auch die dehnbaren Multielektrodenarrays für innovative Pharma- und Zellforschung unterstützten. Im WP1 erarbeitet das IZM fertigungstauglichen Verfahren zur Integration dünner Chips in die Zieldemonstratoren. In WP2 wird die zum "Advanced Assembly" gehörende Technologiebasis realisiert. In WP3 wird dies auch unter Rückgriff auf die am IZM verfügbare TMV Technologie erfolgen zeitgleich unterstützt das EMFT den Technologietransfer zu X-Fab. In WP4, Task 4.2 und 4.2 sowie in Federführung zum WP5, Tasks 5.1 und 5.2 arbeitete das IZM an der Demonstratorumsetzung. Das EMFT konzentriert seine Arbeiten hier auf die Umsetzung eines Mikropumpenmodul für das personalisierte Gasmonitoring, die nach einer Optimierung der fluidischen Paramter im Pumpendesign die Mikropumpen im Pilotverfahren gefertigt und in das Demonstrator-Mikropumpen Modul integriert und charakterisiert werden. Beide Institute bringen sich in WP6, "Dissemination und Exploitation" ein.