Verbundprojekt: Entwicklung einer nahtlosen Step&repeat UV-Lithographie-Technik zur Mikrostrukturierung von Zylinderoberflächen (SUV-Lithography); Teilprojekt: Systemkonzeption, Prozessentwicklung und Untersuchung der Fertigungskette

Ziel des Verbundprojektes ist der Aufbau einer Technologie zur nahtlosen Mikrostrukturierung von Prägewalzen. Heute eingesetzte Techniken sind in ihrer Auflösung beschränkt. Für kleinere Strukturdimensionen eignen sich mikrolithographische Verfahren. Diese sind allerdings nur für planare Oberflächen verfügbar. Mit diesem Vorhaben soll durch den Einsatz von UV-Mikrolithographie-Technik auf gekrümmten Oberflächen die Fähigkeit entwickelt werden, nahtlos Zylinderoberflächen mit hoher Auflösung zu strukturieren. Im Projekt arbeitet die temicon GmbH als Spezialunternehmen für großflächige Mikro-/Nanostrukturierung mit der DEMCON advanced mechatronics B.V. als Spezial-Anlagenbauunternehmen mit umfangreicher Erfahrung in der UV-Stepper-Technologie zusammen. Im Rahmen des Vorhabens soll eine Versuchsanlage konzipiert und aufgebaut werden. Als Demonstrator wird ein nahtlos strukturierter Prägezylinder und nahtlos geprägte Musterfolie hergestellt.