Verbundprojekt: Metrologie für die Halbleiter-Herstellung mit Industrie 4.0 - MADEin4 -; Teilvorhaben: Referenzmetrologie für die Nanotechnologie

Zur Erfüllung der neuen metrologischen Herausforderungen der Produktion von Nanostrukturen, z.B. in der Halbleiterindustrie sollen die Messwerkzeuge selbst mit der Umgebung vernetzt werden (Cyber Physical Systems (CPS)) und neue Werkzeuge und Methoden zur besseren Verarbeitung und intelligenten Kombination großer Menge an Messdaten, die sowohl für die Halbleiter- als auch für die Automobilindustrie anfallen, entwickelt werden. Die Messdaten sollen stets verfügbar sein und mit Design-, Prozess- und Werkzeugdaten verknüpft werden, um sowohl die Produktivität als auch die Vorhersagbarkeit zu verbessern. Auch wenn Europa nicht mehr führend in die Herstellung von Halbleitern involviert ist, haben Europäische Ausrüstungs- und Materialzulieferer sowie EDA-Anbieter (Electronic Design Automation) mit ihrer Spitzentechnologie immer noch - und auch zunehmend - führende Positionen auf dem Weltmarkt. Die gilt ebenso für die Europäische Automobilindustrie. Das Vorhaben soll insbesondere auch messtechnische Synergieeffekte zwischen diesen Industrien befördern, basierend auf den ähnlichen Anforderungen qualitäts- und sicherheitsrelevante Parameterabweichungen im Produktionsprozess so früh wie möglich zu erkennen. Die inhaltlichen Aufgabenfelder von MADEin4 sind: 1. Spezifikation und Betrieb einer messtechnischen Pilotlinie 2. Entwicklung von Messplattformen 3. Prädiktive Anwendungen für die Industrie 4.0 4. Digitalisierung der Fertigung 5. Standards: Verbreitung und Nutzung Die PTB entwickelt dafür Referenzmetrologie und Prozesse für die Rückführung und unterstützt damit die Aufgabenfelder 2, 3 und 6 des Gesamtprojekts.