Verbundprojekt: Metrologie für die Halbleiter-Herstellung mit Industrie 4.0 - MADEin4 -; Teilvorhaben: Elektronenstrahltechnik für vernetzte Metrologieverfahren

Die Integrated Circuit Testing GmbH (ICT) nimmt zusammen mit ihrer Muttergesellschaft, der Applied Materials Israel Ltd. am europäischen Förderprojekt Ecsel MADEin4 teil. Ziel des MADEin4 Projektes ist durch Vernetzung von Metrologieverfahren und Sensorik mit neuen Informationsverarbeitungsmethoden wie z. B. machine learning und intelligent systems die Produktivität und Vorhersagbarkeit von Produktionsprozessen in der Elektronikindustrie zu verbessern. Applied Materials Israel und ICT bearbeiten dabei die Bereiche Defekterkennung, defect review und Metrologie in Halbleiterbauelementen bis zum 5 nm Knoten. Zur Qualitätssicherung und Prozessentwicklung ist eine große Zahl von Messungen direkt auf dem Wafer erforderlich, neben der Erhöhung der Auflösung ist deshalb eine Erhöhung des Durchsatzes weiteres Projektziel. Neuartige Herstellungstechnologien wie z. B. dreidimensionale Strukturen erfordern eine Erweiterung des Anwendungsbereichs der Metrologie- und Inspektionssysteme. Die Metrologie- und Inspektionssysteme erzeugen große Datenmengen, die mit den im MADEin4 Projekt zu entwickelnden Verfahren ausgewertet werden. Im Rahmen des MADEin4 Projektes Workpackage 3 werden diese Mess- und Inspektionssysteme entwickelt und erprobt.