Verbundprojekt: Sensortechnologien zur Messung der Luftqualität - ESAIRQ -; Teilvorhaben: Quellen und steuerbare Komponenten für auf Chipebene integrierte Infrarotspektrometer

Das steigende Bewusstsein für Luftqualität in der Gesellschaft und die zunehmende Luftverschmutzung verlangen nach Lösungen zur Überwachung der Luftqualität. ESAIRQ hat sich zum Ziel gesetzt, durch Forschung an selektiven, hochempfindlichen und zuverlässigen Sensoren wesentliche Technologien für die Messung von Gaskonzentrationen zu erschwinglichen Kosten für den Massenmarkt zu entwickeln. Sensoren, welche nach dem Prinzip der Infrarotspektroskopie arbeiten, sind selektiv und langzeitstabil. Die Etablierung im Massenmarkt erfordert eine starke Verringerung ihrer Baugröße und Herstellungskosten. Beides kann durch funktionale Integration von Komponenten, wie Lichtquellen, Detektoren, Filtern und Interferometern, in einem einzelnen Mikrochip erreicht werden. Ziel des Projektes ist es IP-Blöcke für eine oberflächennahe Siliziumtechnologie zu entwickeln, sodass sie in einem modularen Spektrometersystem auf Chipebene vielfältig zu leistungsfähigen Gesamtsystemen kombiniert werden können. Muster werden hergestellt, charakterisiert und den Partnern zur Verfügung gestellt.