StartseiteLänderEuropaNiederlandeVerbundprojekt: Zuverlässige Leistungselektronik aus neuartigen Materialien für die energieeffiziente Elektromobilität - HiPERFORM -; Teilvorhaben: Entwicklung von Prozesskomponenten und Technologieoptimierung

Verbundprojekt: Zuverlässige Leistungselektronik aus neuartigen Materialien für die energieeffiziente Elektromobilität - HiPERFORM -; Teilvorhaben: Entwicklung von Prozesskomponenten und Technologieoptimierung

Laufzeit: 15.08.2018 - 31.10.2021 Förderkennzeichen: 16EMOE025S
Koordinator: CREAVAC-Creative Vakuumbeschichtung GmbH

Im Teilvorhaben entwickelt die Creavac GmbH eine Anlage bzw. Anlagenkomponenten für die Abscheidung von GaN durch Puls-Sputter. Da zu Beginn des Vorhabens die genauen Parameter nicht feststehen, muss die Anlage sehr flexibel ausgelegt werden. Im Rahmen der FuE-Arbeiten sind material- und anlagentechnische Fragestellungen zu bearbeiten, die im Anschluss prozesstechnisch umgesetzt werden sollen. Dies gescheit vor allem beim Projektpartner FhG FEP. Ziel ist es, Einzel- als auch Mehrfachschichten durch gepulste Sputter herstellen zu können.

Verbund: Zuverlässige Leistungselektronik aus neuartigen Materialien für die energieeffiziente Elektromobilität Quelle: Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) Redaktion: DLR Projektträger Länder / Organisationen: Österreich Belgien Spanien Italien Niederlande Slowakei Slowenien Themen: Förderung Information u. Kommunikation

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