Verbundprojekt: Vertrauenswürdige europäische SiC-Lieferkette für energieeffiziente Leistungselektronik - TRANSFORM -

Das übergeordnete Ziel von TRANSFORM ist der Aufbau einer vollständigen und äußerst wettbewerbsfähigen europäischen Lieferkette für Leistungselektronik auf Basis von Siliziumkarbid (SiC)-Leistungshalbleitern. TRANSFORM wird SiC-Technologien der nächsten Generation unterstützen und entwickeln. Die Herstellung und Verarbeitung von SiC-Ingots, Chucks und Wafer ist wesentlich für hoch-performante Leistungselektronik, in den Automobil-, Photovoltaik-, Rail-, Precision Farming- und in einer Vielzahl weiterer Anwendungen. SURAGUS' Kompetenz besteht in der Entwicklung und Realisierung von Hochtechnologie-Sensorik-Lösungen basierend auf der Hochfrequenz-Wirbelstrom-Technologie. Diese berührungslose Charakterisierungstechnologie soll für die halbleiter-fertigende SiC-Industrie entwickelt werden. Durch die berührungslose Detektion von elektrischen Eigenschaften der SiC Boule, Chuck und Wafer kann garantiert werden, dass höchste Ansprüche (Temperatur, Spannung) in der Aplikation (v.a. Inverter) realisiert werden. SURAGUS wird im Vorhaben die Wirbelstrom-Technologie für zwei wesentliche Anwendungen weiterentwickeln. So soll zum einen ein Integrationskit für die automatisierte Charakterisierung von SiC-Boules realisiert werden, welches schlussendlich in einem autarken stand-alone-Messautomaten und in ein bestehendes Tool eines Projektpartners implementiert werden soll. Zum anderen wird ein Integrationskit für die Überwachung des Annealing-Prozesses auf Wafer-Level-Ebene entwickelt, welches in ein Annealing-Tool bzw. -Clusterport implementiert werden soll. Folgende Ergebnisse sollen vorliegen: (1) Messmodelle für elektrischer Eigenschaften in SiC Prozessen (2) Integrationskit für Mapping in SiC prozessierende Anlagen (3) Integration des Mapping-Integrationskits in Messautomaten (4) Implementation des Integrationskits in eine Projektpartner-Anlage (5) Sensoren für SiC Charakterisierung entlang der Wertschöpfungskette (6) Entwicklung eines in-situ-Monitors für SiC Annealing