Komplexe, mehrstufige Vorgänge, die langsam, material- und energieintensiv sowie kostspielig sind – und noch anspruchsvoller, wenn mehrere unterschiedliche Materialien kombiniert werden sollen: Auf solchen Verfahren beruht die Materialstrukturierung in der Mikroelektronik. Das will ein europäisches Konsortium unter Federführung der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU) ändern. Das Team will die additive Fertigung, wie 3D-Druck in der Industrie genannt wird, auf die Mikro- und Nanotechnologie anwenden. Die Vorteile: Additive Fertigung bietet schnellere und flexiblere Prozesse und verbraucht gleichzeitig weniger Rohmaterialien und Energie als bisherige Verfahren.
Um einen „Atomlagen-3D-Drucker“ herzustellen, der beliebige Formen mit einer senkrechten Auflösung in der Größenordnung von nur einem Atom erzeugen kann, will das Team von Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftlern die Expertise der verschiedenen Projektpartner zusammenführen: von der chemischen Steuerung ultradünner Schichten über die Gasabgabe und mikroelektronische Geräte bis hin zu Mikroverarbeitung und Automatisierung. Das Ziel ist, einen Prototyp eines solchen Druckers für die Mikroelektronik zu entwickeln, der gewerblich vertrieben werden kann.
Neben der FAU sind an dem Konsortium die Unternehmen ATLANT 3D Nanosystems, Femtika und SEMPA Systems sowie das Institut für Elektrotechnik der Slowakischen Akademie der Wissenschaften beteiligt.
