Verbundprojekt: Modulentwicklung für die 14 Angstrom Lithographie in der Chip-Produktion - 14AMI -

Das Gesamtziel des 14AMI-Projekts ist es, eine kosteneffiziente und nachhaltige Lösung für den 14-Ångström-Technologieknoten zu entwickeln. Ziel des Fraunhofer IPT ist es, eine kosteneffiziente Technologie zur Herstellung der neuartigen Generatordüse zu entwickeln. Der Generator ist ein technologischer Eckpfeiler der EUV-Lithographieanlage. Die nächste Generation von EUV-Lithographieanlagen zielt darauf ab, die Leistung der EUV-Quelle zu erhöhen, was durch die Erhöhung der Geschwindigkeit und des Drucks der flüssigen Zinntropfen ermöglicht wird. Die größte Herausforderung besteht darin, dass die Düse, die ein extrem kleines Kapillarglasrohr ist, extrem hohen Drücken von 700 bar und hohen Temperaturen von 260 °C standhalten muss. Drei innovative Glasbearbeitungstechnologien für die Herstellung der Glasdüsen werden entwickelt. Dabei handelt es sich um das Präzisionsglaspressen, die Glas-Metall-Verbindung und das Ultrapräzisions-Diamantschleifen. Die hergestellten Düsen werden bei ASML unter realen Extrembedingungen getestet und evaluiert. Basierend auf den Testergebnissen wird schließlich eine machbare Technologie definiert.