ERA-Net: Verbundprojekt: Dynamische Analyse von Sauerstoff- und Kohlenstofftransport in der Halbleiterherstellung; Teilvorhaben: Optimierung der Kristallisationsparameter und Simulationsberechnung

Ziel des Projektes ist die Verbesserung der Fertigung von Halbleiterbauelementen. Dabei werden neuartige Ansätze zur Steuerung und Reduktion von Sauerstoff und Kohlenstoff entwickelt und im produktionsnahen und im produktiven Umfeld auf Ihre Wirksamkeit hin überprüft. Gründe für eine suboptimale Leistung von siliziumbasierten Bauteilen liegen hauptsächlich in Materialdefekten auf mikroskopischer, nanoskopischer oder atomarer Ebene. Insbesondere die Rolle von Verunreinigungen durch Sauerstoff- und Kohlenstoffatomen sind dabei sehr wichtig, jedoch gleichzeitig nur schwer zu steuern. Im Rahmen unseres Projektes werden wir Experten aus den Bereichen der Computersimulation von Kristallisationsprozessen, der Material- und Bauteildiagnostik, der angewandten experimentellen Kristallisation von Silizium mit modernsten Produktionsanlagen zusammenbringen um die Fragestellung zu bearbeiten. Die Projektergebnisse werden im produktiven Umfeld bei Herstellern von Zellen und Modulen überprüft. Dies eröffnet uns hervorragende Optionen, einen besseren Einblick in den Materialherstellungsprozess zu erhalten, um ein besseres Verständnis Fehlermechanismen zu erlangen und so das Endprodukt auf die nächste Qualitätsebene zu bringen.