Verbundprojekt: Enhanced substrates and GaN pilot lines enabling compact power applications - PowerBase -; Teilvorhaben: Untersuchung und Definition der Yield Detractors für eine Europäische GaN Packaging Pilotlinie

Leistungshalbleiter sind eine wesentliche Voraussetzung für die Innovationskraft der Industrie, und somit Basis für wirtschaftliches Wachstum und nachhaltige Arbeitsplätze in Deutschland und Europa: als Beispiele seien die weltweit erfolgreichen Industriesparten Industrieausrüstung und Automobilbau genannt. Leistungshalbleiter ermöglichen heute energieeffiziente Stromversorgungen und Antriebsregelungen – um hier weitere Fortschritte zu erzielen, müssen Leistungshalbleitertechnologien stetig verbessert werden. Das ECSEL-Vorhaben POWERBASE vereint europaweit 40 Partner, um gemeinsam die Voraussetzungen für anspruchsvollste Leistungshalbleiter, gefertigt in Europa, zu schaffen. Im Rahmen des ECSEL-Vorhabens POWERBASE wird NanoFocus wesentliche, für die im POWERBASE Vorhaben geplante GaN Packaging Pilotlinie kritische, Prozessparameter identifizieren, die notwendigen physikalischen und systemtechnischen Voraussetzungen und Eigenschaften für deren schnelle und zuverlässige In-Line Erfassung untersuchen und feststellen und die notwendige Technologie für deren Überwachung in prozessrelevanter Geschwindigkeit erarbeiten und umsetzen. Die auf diese Weise realisierbaren schnellen Feedback-Loops ermöglichen eine hoch effiziente Steuerung von Produktionsprozessen und tragen so wesentlich zur Gewährleistung einer international wettbewerbsfähigen Produktionslinie von Leistungshalbleitern bei. Die NanoFocus AG plant im Projekt POWERBASE insgesamt 87 Personenmonate in insgesamt 22 individuellen Arbeitspaketen aufzuwenden. NanoFocus AG plant die Arbeiten in WP5 des POWERBASE Vorhabens durchzuführen und eng mit den Bedürfnissen von Infineon Regensburg (WP5 Leader) abzustimmen. Die NanoFocus Arbeitspakete lassen sich in die Phasen Definition, Grundlagenuntersuchung, Implementierung, Umsetzung und Nachweis unterteilen und erstecken sich über die gesamte 36-Monatige Laufzeit des POWERBASE Vorhabens.