Verbundprojekt: Mikrotransferdruck-Pilotlinie zur flexiblen Herstellung komplexer mikroelektronischer Systeme - MICROPRINCE -; Teilvorhaben: Systemintegration optischer Filter auf Halbleiterwafer mittels Mikrotransferdruck

Das Ziel des geplanten Projektvorhabens MICROPRINCE ist die Installation einer Pilotlinie zur Umsetzung und Realisierung der Mikrotransferdruck-Technologie zur heterogenen Systemintegration funktionaler Komponenten (wie z.B. III/V-Halbleiterkomponenten, optische Filter und spezieller Sensoren) auf Waferebene. Weiterhin sollen fünf definierte Anwendungsszenarios in die neue geschaffene Pilotlinie transferiert werden, um diese Produkte für eine Industrialisierung vorzubereiten. Das Hauptaugenmerk der Vorhaben von X-FAB liegt dabei in der Entwicklung und Herstellung von optischen Sensoren mit heterogen integrierten optischen Filtern. Hierfür sollen Prozesse entwickelt werden, um optische Filter für die Prozessdurchführung freizustellen. Nach der erfolgten Integration der optischen Filter auf CMOS-Wafer sollen die hergestellten Sensoren im Vergleich zur aktuellen technologischen Lösung bewertet werden. Ziel des Teilvorhabens ist Ergänzung des Produktportfolios um die neue Technologie und ggf. die Ablösung des bisherigen Prozesses. Zusätzlich zu den Aktivitäten werden die bei der X-FAB vorhandenen Kenntnisse im Aufbau der Pilotanlage und der Prozessentwicklung in enger Zusammenarbeit mit dem Partner XMF Anwendung finden.