StartseiteLänderEuropaFrankreichVerbundprojekt: Offene Metrologieplattform für vertrauenswürdige Elektronikkomponenten – WaferMetrologyCenter -; Teilvorhaben: Reinheitstechnische Auslegung und Evaluierung

Verbundprojekt: Offene Metrologieplattform für vertrauenswürdige Elektronikkomponenten – WaferMetrologyCenter -; Teilvorhaben: Reinheitstechnische Auslegung und Evaluierung

Laufzeit: 01.03.2020 - 28.02.2023 Förderkennzeichen: 16ME0058
Koordinator: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA)

Zielstellung des Teilvorhabens "Reinheitstechnische Auslegung und Evaluierung" des Fraunhofer IPA‘s ist die Sicherstellung von reinheits- und reinraumtauglichen Anforderungen der WMC-Plattform und seiner Sensoren. Dies erfolgt durch entwicklungsbegleitendes Consulting sowie durch Strömungssimulationen und Qualifizierungstests im Kompetenzzentrum Reinst- und Mikroproduktion des Fraunhofer IPA. Alle relevanten Messungen, z. B. die Bestimmung der Partikelemission, werden in einem Referenzreinraum der Luftreinheitsklasse 1 (nach ISO 14644-1) mit vertikaler Verdrängungsströmung bei konstanten Betriebsbedingungen durchgeführt.

Verbund: Offene Metrologieplattform für vertrauenswürdige Elektronikkomponenten Quelle: Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) Redaktion: DLR Projektträger Länder / Organisationen: Schweiz Frankreich Niederlande Themen: Förderung Information u. Kommunikation

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