Verbundprojekt: Zuverlässige Mikroelektronik durch KI-basierte Fehleranalyse – FA4.0 -; Teilvorhaben: Neuartiges SAM mit standardisierten Schnittstellen und Probenhalter für optimierte, teilautomatisierte Arbeitsabläufe in der Fehleranalyse

In diesem Projekt soll insbesondere die Erforschung anwenderfreundlicher und ergonomischer Arbeitsabläufe und die intelligente Verwendung aller verfügbaren Daten Berücksichtigung finden. Eine automatisierte Vorerkennung von potentiellen Fehlern soll es dem Anwender bei der Analyse großer Probenmengen erleichtern, relevante Stellen gezielt zu untersuchen und zu bewerten. Eine solche Voranalyse soll bei Zuverlässigkeitsstudien und Alterungsuntersuchungen in der Lage sein, auch Defekte zu erkennen, die im Vorhinein nicht explizit in einem Analyserezept erfasst und klassifiziert worden sind. Die bereits gewonnenen Daten sollen durch KI-Ansätze analysiert und bewertet werden, um eventuelle Fehlerszenarien schnell zu erkennen. Dies erfordert klar definierte digitale Schnittstellen zwischen den einzelnen Fehleranalysegeräten und einer Datenbank. Die zu analysierenden Proben werden in der Fehleranalyse mit vielen verschiedenen Methoden untersucht und bearbeitet. Ein universeller Probenhalter soll den Übergang von Gerät zu Gerät erleichtern und helfen, die geometrische Ausrichtung von einem Gerät zum anderen beizubehalten, so dass eine räumliche Referenzierung und eine Korrelation der Analyseergebnisse möglich werden.