Verbundprojekt: Advanced Distributed Pilot Line for More-than-Moore Technologies - ADMONT -; Teilvorhaben: Entwicklung von integrierten Hochspannungs-IP und Treiber Schaltungen für Mikropumpen Anwendungen

In ADMONT werden die "Essential Capabilities": Prozesse, Design und Systeintegration erarbeitet, um auf spezifischen Anwendungsfeldern Innovationen zu erzeugen. Es werden wichtige Kompetenzen und Facilities für die Pilotlinie und damit zur Herstellung von Smart-Systems zur Verfügung gestellt. IZM/ASSID, FEP/COMEDD und IPMS nutzen und entwickeln ihre Reinräume für die Pilotfertigung. Technologieentwicklungen erfolgen im Bereich organischer Elektronik, Sensor/Aktor-Systeme und Waferlevel-Integrationstechnologie. Dadurch wird die Pilotlinie zur Herstellung integrierter Systeme befähigt. Diese Aktivitäten werden begleitet von Erweiterungen der bisherigen Schaltungsentwurfsysteme. Hierbei werden Degradationserscheinungen, elektrothermische Wechselwirkungen und Prozesseinflüsse auf elektrische Parameter im automatisierten Entwurf berücksichtigt (FhI-IIS/EAS). Die Anwendung dieser Fähigkeiten erfolgt u.a. bei der Systemintegration einer Mikropumpe inklusive der Entwicklung der notwendigen Steuerschaltkreise (EMFT). Die Projektlaufzeit beträgt vier Jahre. Fraunhofer liefert Beiträge in allen 9 Arbeitspaketen von ADMONT. Schwerpunkt ist dabei der Aufbau der virtuellen Pilotlinie und der notwendigen Prozess- und Designtechnogien. 702Mannmonate werden in den Arbeitspaketen 1, 3,4, 6 dazu veranschlagt. Im Anwendungsbereich sind 150 Mannmonate geplant für Demonstratoren.Die restlichen 40 der insgesamt 906 Mannmonate sind für Vewertung und Projektmanegment vorgesehen.