Verbundprojekt: Advanced Distributed Pilot Line for More-than-Moore Technologies - ADMONT -; Teilvorhaben: Prozessreife Sensor- und Elektronik-Module in der CMOS-Hochvolt-Technologie der Pilotlinie

Ziel des Projektes ADMONT_EDC ist die Schaffung von IP-Zellen für Drucksensoren verschiedenster Druckbereiche und der zugehörigen Sensorauswerteelektronik in Form eines modularen Konzepts. Für die Umsetzung dieser Ziele sind Simulationsmodelle der Sensoren für die Kombination von Elektronik und Sensorik in einem System zu schaffen. Für die Überführung der Sensoren in die Prozessreife werden technologiespezische Design Rules festgelegt. 1. Evaluierung der technologischen Spezifikationen 2. Modellerstellung der Sensoren 3. Schaffung von Design Rules für das Layout 4. Design verschiedener Sensorvariationen 5. Design verschiedener Elektronikkomponenten 6. Charakterisierung der Sensoren und der Elektronik 7. Dokumentation / Veröffentlichung