Verbundprojekt: Neuartige Datenspeicherchips für leistungsstarke Automobilelektronik - WAKeMeUP -; Teilvorhaben: Entwicklung eines neuartigen nichtflüchtigen Speichers für die Automobilindustrie

X-FAB als weltweit führende Analog-/Mixed-Signal-Foundry konzentriert sich auf die Integration neuer Funktionalitäten in ihre verschiedenen CMOS-Technologieplattformen. Das WAKeMeUP-Projekt bietet die Möglichkeit, eine neue nichtflüchtige Speicher (NVM)-Technologie in den Backend-of-Line-Prozess (BEOL) zu integrieren. Dieser neue Ansatz verbindet dabei die Vorteile eines sehr energieeffizienten NVM-Speichers mit der unabhängigen Optimierung des FEOL-CMOS Prozesses und der BEOL NVM-Integration. Darüber hinaus bietet der ferroelektrische NVM-Ansatz die Möglichkeit einer Flächenreduktion des NVM-Speichers. Eine 3D-Integration ist möglich, da die NVM Speicherzelle im BEOL erzeugt wird. Durch die besonders gute Energieeffizienz der NVM-Speicherzelle, können bestimmte Bausteine der Speicherperipherie reduziert werden und entsprechende Test-Zeiten verkürzt. Damit bringt die Lösung Kostenvorteile für potenzielle Kunden mit sich. Ziel des Projektes ist es, die Machbarkeit der Integration von ferroelektrischem Speichern in einen CMOS-Prozess zu demonstrieren, indem Speicherzellen und eine komplette integrierte Demonstratorschaltung charakterisiert werden. Die Ergebnisse werden die Grundlage für einen Transfer und zur Qualifizierung des Prozesses in einem industriellen Umfeld bilden.