Untersuchung und Einstellung der Graphenelektroden von lösungsprozessierbaren Metalloxid-Dünnfilmtransistoren für die Low-Cost-Elektronik (CMOT)

Im Projekt CMOT sollen für lösungsprozessierbare Metalloxid-Dünnfilmtransistoren Graphenelektroden maßgeschneidert werden und eine neue Technologie basierend auf einer Laserstrukturierung und -konvertierung der Elektroden und des Halbleitermaterials für den Markt der Low-Cost-Elektronik entwickelt werden. Eine Mikrostrukturierung der Schichten ist notwendig, um Kurzschlüsse und Leckströme zu verhindern sowie die Form der einzelnen funktionalen Schichten und damit des Transistors zu definieren. Daher werden laserbasierte Strukturierungsprozesse entwickelt, die einen selektiven Abtrag der Einzelschichten und Schichtstapel ermöglichen. Durch den Einsatz eines räumlichen Lichtmodulators soll die Möglichkeit einer Prozessparallelisierung untersucht werden. Das Teilvorhaben für LPKF deckt folgende Tätigkeiten ab: (1) Laser-Mikrobearbeitung: Entwicklung von Laserprozessen für die selektive, schädigungsfreie Strukturierung der in den Dünnschichttransistoren eingesetzten Materialien. Identifikation geeigneter Strahlquellen und Prozessparameter. Charakterisierung der Strukturierungsergebnisse. (2) Randentschichtung von im Projekt hergestellten Transistoren. (3) Untersuchungen zur Strahlformung mittels räumlichem Lichtmodulator. Parallelsierung des Abtrags durch Strahlformung.