Verbundprojekt: Intelligente Zuverlässigkeit von Elektroniksystemen - iRel40 -; Teilvorhaben: Neuartige prozessbegleitende optische Messverfahren für selektive Laserprozesse bei der Produktion dünner Wafer

Das ECSEL JU Projekt "Intelligent Reliability 4.0 (iRel40)" hat das übergeordnete Ziel, die Zuverlässigkeit von elektronischen Komponenten und Systemen durch Reduzierung der Fehlerrate entlang der Wertschöpfungskette zu verbessern. Aufgrund der Miniaturisierung wird Zuverlässigkeit zu einer immer größeren Herausforderung sowohl auf Bauelement als auch auf Systemebene und führt zu extremen Anforderungen für künftige komplexe Anwendungen. In iRel40 kooperieren 79 Partner aus 14 europäischen Ländern in 6 technischen Arbeitspaketen (AP) entlang der Wertschöpfungskette Chip-Package-Board/System, 19 Partner davon in Deutschland. Durch die Zusammenarbeit von 7 Instituten (alleine 7 FhG Institute), 9 Großunternehmen und 3 KMUs in Deutschland auf dem herausfordernden Thema der Zuverlässigkeit wird breites Wissen aufgebaut, künftige zuverlässige elektronische Komponenten und Systeme schneller zu entwickeln und neuen Prozesses mit höherer Geschwindigkeit in die Produktion überzuführen. Im Rahmen des Gesamtkonsortiums bringt die WHZ vor allem Know-how aus dem Bereich der Laseroberflächenmanipulation sowie aus der optischen Messtechnik ein. Als wissenschaftlicher Partner besteht das übergeordnete Ziel des Teilprojektes in der fundierten wissenschaftlichen Analyse von Prozessen und Materialien sowie in der Optimierungssimulation. Aufbauend darauf wird die WHZ grundlegend neue Messsysteme und Anlagen entwickeln und charakterisieren. Durch die enge Anbindung an andere Projektpartner insbesondere aus der Industrie wie Infineon Technologies Dresden GmbH & Co. KG sowie die LEC GmbH wird außerdem eine starke Wichtung auf die mögliche Verwertung von Forschungsergebnissen gelegt. In Form von Demonstratoren und Feldtests werden neuste wissenschaftliche Ansätze auch im industriellen Umfeld evaluiert. Somit wird die angewandte wissenschaftliche Arbeit schon während des Projekts unter industriell-relevanten Aspekten beleuchtet.