Verbundprojekt: Seven Nanometer Technology – SeNaTe -; Teilvorhaben: Elektronenstrahltechnik für 7nm Technologie

Ziel des Vorhabens ist die Entwicklung von elektronenoptischen Säulen für Inspektions- und Defect Review-Systeme, die Anforderungen des 7 nm Technologieknotens erfüllen. Das Vorhaben ist eingebettet in das europäische Ecsel / SeNaTe Programm, dessen Inhalt die Entwicklung und Implementierung der für die 7 nm Technologie erforderlichen Prozesse und Systeme ist. Für den Einsatz in der 7 nm Technologie ist es erforderlich, die Stromdichte in der Elektronensonde zu erhöhen, um den Durchsatz zu erhöhen, sowie das Auflösungsvermögen zu erhöhen, um Defekte sichtbar machen zu können. ICT ist eine Tochtergesellschaft von Applied Materials Israel Ltd. (AMIL). AMIL entwickelt und produziert die Systemplattformen, Steuerungs- und Auswertungssoftware für die Inspektionssysteme und integriert die elektronenoptischen Säulen von ICT. Die Qualifizierung des Gesamtsystems erfolgt in Zusammenarbeit mit AMIL. Im Rahmen des Vorhabens wird ICT zwei Säulentypen für den 7 nm Einsatz optimieren. Einen Säulentyp für hohe Stromdichte und dafür optimierter Auflösung für die Elektronenstrahl-Inspektion, die eine hohe Scan-Geschwindigkeit erfordert. Der zweite Säulentyp wird für die neue Inspektionsanwendung high throughput defect Review eingesetzt, mit erhöhten Anforderungen an die Auflösung. Für beide Säulentypen werden jeweils zunächst optimierte Konfigurationen mit numerischen Simulationsmethoden ermittelt. Danach werden die Konfigurationen in mechanische Konstruktionen umgesetzt, die Teile werden gefertigt und montiert. Erprobung und Optimierung erfolgen auf Testständen bei der ICT. Dort werden auch eventuell erforderliche Korrekturmaßnahmen sowie Zuverlässigkeitsuntersuchungen durchgeführt. Zur Überprüfung der Leistungsfähigkeit werden die Säulen dann bei AMIL mit Unterstützung von ICT in Prototypen von Fertigungsmaschinen integriert, auf denen die Qualifizierung mit 7 nm Teststrukturen aus dem Excel / SeNaTe Projekt erfolgt. Der Abschluss des Projektes ist für 2018 geplant.