StartseiteLänderEuropaEuropa: Weitere LänderVerbundprojekt: Seven Nanometer Technology - SeNaTe -; Teilvorhaben: Reingungsanlage für Wafertransportbehälter mit einer In-situ Kontaminationsüberwachung von gasförmigen Luftfremdstoffen (AMC) und Festkörperteilchen (Partikel)

Verbundprojekt: Seven Nanometer Technology - SeNaTe -; Teilvorhaben: Reingungsanlage für Wafertransportbehälter mit einer In-situ Kontaminationsüberwachung von gasförmigen Luftfremdstoffen (AMC) und Festkörperteilchen (Partikel)

Laufzeit: 01.04.2015 - 31.03.2018 Förderkennzeichen: 16ESE0041
Koordinator: Brooks Automation (Germany) GmbH

Gasförmige Luftfremdstoffe (AMC) sind das Potenzial für Verbesserungen in der Halbleiterindustrie. In Anlehnung an die In-situ Reinraumüberwachung sollen nun auch die Produktionssystem überwacht werden. Ähnliches gilt für die Entwicklung der In-situ Partikelüberwachung. 1: Projektmanagement 2: Herstellung/Installation erforderlicher Hardware 3: Entwicklung definierter Verschmutzung Partikel 4: Entwicklung definierter Verschmutzung AMC 5: Entwicklung insitu - dry Partikel (iDPC) 6: Entwicklung insitu - liquid Particle (iLPC) 7: Entwicklung insitu - AMC 8: Korrelation insitu Partikel mit Standardtest 9: Entwicklung hochintegrierter iAMC/iLPC Steueralgorithmen 10: Bestimmen der Reinigungseffizienz 11: Entwickeln der Reinigungseffizienz für die 7nm-Technologie

Verbund: Seven Nanometer Technology Quelle: Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) Redaktion: DLR Projektträger Länder / Organisationen: Österreich Belgien Tschechische Republik Frankreich Ungarn Israel Niederlande Themen: Förderung Information u. Kommunikation

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