Verbundprojekt: Mikroelektronik in Deutschland für Industrie 4.0 fit machen - SemI40 -; Teilvorhaben: Effizienz- und Qualitätssteigerung durch autonome Prozesse und Big Data Analyse in der "More-than-Moore" Halbleiterfertigung

Im Verbundvorhaben SemI40 plant Elmos durch innovative Methoden der Prozessdatenanalyse und zunehmender automatisierung die Effizienz und Qualität der Fertigung zu steigern. Dabei werden verschiedene Themen vom Elmos adressiert wie verbesserte OEE, autonome OCAP Prozesse, Fault Detection and Classification (FDC), Big Data Analysis für erweiterte Advanced Process Controll sowie der Einsatz von autonomen Robotern. Die Arbeiten zu den einzelnen Themen folgen alle ählichen Abläufen: Zuerste werden die Anforderungen an die einzelnen Themen definiert und notwendige Daten identifizeirt sowie die Zusammenhänge und Interaktionen zwischen den einzelnen Arbeiten spezifiziert. Anschließend erfolgt die Umsetzung der Erbeiten gefolgt von ausgiebigen Verifikationen unter Nutzung realer Produktions- und Prozessdaten.