Verbundprojekt: Seven Nanometer Technology - SeNaTe -; Teilvorhaben: Reingungsanlage für Wafertransportbehälter mit einer In-situ Kontaminationsüberwachung von gasförmigen Luftfremdstoffen (AMC) und Festkörperteilchen (Partikel)

Gasförmige Luftfremdstoffe (AMC) sind das Potenzial für Verbesserungen in der Halbleiterindustrie. In Anlehnung an die In-situ Reinraumüberwachung sollen nun auch die Produktionssystem überwacht werden. Ähnliches gilt für die Entwicklung der In-situ Partikelüberwachung. 1: Projektmanagement 2: Herstellung/Installation erforderlicher Hardware 3: Entwicklung definierter Verschmutzung Partikel 4: Entwicklung definierter Verschmutzung AMC 5: Entwicklung insitu - dry Partikel (iDPC) 6: Entwicklung insitu - liquid Particle (iLPC) 7: Entwicklung insitu - AMC 8: Korrelation insitu Partikel mit Standardtest 9: Entwicklung hochintegrierter iAMC/iLPC Steueralgorithmen 10: Bestimmen der Reinigungseffizienz 11: Entwickeln der Reinigungseffizienz für die 7nm-Technologie