StartseiteLänderEuropaFrankreichVerbundprojekt: Seven Nanometer Technology - SeNaTe -; Teilvorhaben: Improved reflection coatings for optical systems with 7 nm resolution

Verbundprojekt: Seven Nanometer Technology - SeNaTe -; Teilvorhaben: Improved reflection coatings for optical systems with 7 nm resolution

Laufzeit: 01.04.2015 - 31.03.2018 Förderkennzeichen: 16ESE0044S
Koordinator: Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS)

Die Beteiligung der Fraunhofer Gesellschaft am SeNaTe Projekt soll vor allem die weltweit führende Position deutscher Industrieunternehmen im Bereich von Geräten für die Halbleiter-fertigung stärken und ausbauen. Das Fraunhofer Institut IWS wird mit den Arbeiten zur Ent-wicklung verbesserter Abscheideverfahren für Multischichten die Firma Zeiss SMT bei der Entwicklung von EUV-Projektionsoptiken unterstützen. Das Fraunhofer Institut ENAS trägt mit seinen Aktivitäten zur In-Situ-Analytik und Prozesskontrolle zur Weiterentwicklung einer innovativen Messtechnik bei. Das IWS wird Plasmaprozesse erforschen, die eine verbesserte Beschichtung von EUV-Spiegeln ermöglichen. Insbesondere werden Verfahren zur Herstellung von Spiegelschichten mit geringeren Streulichtanteilen, mit einstellbaren Dickengradienten und mit minimierten Schichteigenspannungen entwickelt. Das ENAS wird verschiedene Methoden der In-Situ-Diagnostik für Plasma-Strukturierungsprozesse miteinander kombinieren. Einen besonderen Schwerpunkt bilden dabei der Einsatz und die Weiterentwicklung der Quantenkaskadenlaser-Absorptionsspektroskopie.

Verbund: Seven Nanometer Technology Quelle: Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) Redaktion: DLR Projektträger Länder / Organisationen: Österreich Belgien Tschechische Republik Frankreich Ungarn Israel Niederlande Themen: Förderung Information u. Kommunikation

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